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10 代表洁净低发尘系列;IR 为 IR2000 系列精密减压阀;2010 代表调压区间 0.01~0.4MPa;02 接管口径 Rc1/4;B 配备金属安装托架;R 为洁净低析出规格。该阀采用喷嘴挡板先导结构,调压精度远高于普通 AR 减压阀,专为半导体、锂电等洁净工况开发。
适用流体为压缩空气,最高供给压力 1.0MPa,调压范围 0.01~0.4MPa,至低供给压力需高于设定压力 0.05MPa。工作温度 - 5~60℃,介质不可结冰,接口 P 口、A 口 Rc1/4,压力表预留接口 Rc1/8。调压灵敏度可达满量程 0.2% 以内,压力重复精度 ±0.5% FS。阀体采用低析出铝合金,内部膜片与密封件选用氟素低发尘材料,减少油气与颗粒析出,满足 ISO Class5 洁净环境。
SMC 10-IR2010-02B-R 洁净系列精密减压阀喷嘴挡板式先导精密调压结构,稳压性能优异,入口气源波动时输出气压稳定。顶部调压手轮,调好压力后可加装锁紧螺母,抑制设备振动造成压力漂移。标配安装支架,可直接固定在机架面板。阀体底面排气结构,溢流泄压可靠。低析出内部组件,无铜离子析出风险,内部润滑介质为洁净专用氟素脂,不会产生微粒污染产品。体积紧凑,可搭配洁净气源处理元件组合安装。
SMC 10-IR2010-02B-R 洁净系列精密减压阀多用于半导体、光学、锂电池、精密 3C 洁净自动化产线,真空吸附、精密压力检测、薄膜压紧等高精度压力控制工位。用于对供气压力稳定性要求严苛的洁净气动回路,控制吸盘吸附力、微型气缸输出推力,常搭配 10 系列洁净气源三联件、洁净气缸、洁净调速阀成套使用。
安装确认气流方向,不可反向装配。前端必须配置洁净过滤器,去除微小粉尘,保护内部喷嘴挡板结构。调压完成锁紧锁母,禁止锁死状态强行旋转手轮。供给压力必须大于目标调压值 0.05MPa 以上,否则无法正常调压。洁净工况定期巡检,定期校验输出压力,检查接口有无泄漏。
10-IR2020-02
10-IR2020-02BG
10-IR3020-04
10-IRV2000-02BG
10-ISE30-0125ML
10-ISE30A-01ALB
10-ISE40-01-22
10-ISE40-01-22L
10-ISE40-0122LM
10-ISE400122LMA
10-ISE40-01-30
10-ISE40A-01-R
10-ISE40-T1-22L
10-ISE40-W1-22L
10-KDM20-04
10-KFE06-00
10-KFF10U-02
10-KFH04-01
10-KFH06-01
10-KFH06-02
10-KFH08U-01
10-KFH08U-02
10-KFH12N-02
10-KFL04-01
10-KFL06-01
10-KFL06-02
10-KFL10N-02
10-KFL12N-02
10-KFP-06
10-KFT04-00
10-KFT08U-00
10-KFT10N-00
10-KFT12N-00
10-KFV04-01
10-KGE04-01
10-KGF08-02
10-KGH04-00
10-KGH04-01
10-KGH04-06
10-KGH04-M5
10-KGH06-00
10-KGH06-01
10-KGH06-02
10-KGH06-03
10-KGH06-08
10-KGH06-M5
10-KGH08-00
10-KGH08-01
10-KGH08-02