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10 代表洁净低发尘系列；CDQSB 为 CQS 系列薄型气缸，内置活塞磁环；B 为基本安装型；16 缸径 16mm；20 行程 20mm；D 代表内置活塞磁环；M9N 为 D-M9N 三线 NPN 无触点磁性开关，用于气缸伸出、缩回位置信号检出。洁净专用薄型气缸，低析出、低发尘，适配无尘产线。
动作方式：单杆双作用；使用流体压缩空气；最高使用压力 1.0MPa，保证耐压力 1.5MPa，至低动作压力 0.05MPa；配管接口 M5×0.8；搭载磁性开关时环境温度 - 10~60℃，介质不可结冰；活塞运行速度 50~300mm/s；无内置缓冲结构。内部密封件采用氟素低析出材料，减少油气与固体微粒析出，洁净等级满足 ISO Class5 无尘工况要求。
SMC 10-CDQSB16-20D-M9N 洁净系列薄型气缸扁平方形紧凑缸体，厚度小，节省洁净设备安装空间。B 基本型本体，可通孔安装，搭配法兰、脚座等多种附件。缸体三面开设嵌入式磁性开关槽，M9N 开关嵌入槽内，不会向外突出，检测位置可现场滑动调节，安装调试便捷。活塞杆为内螺纹结构，可直接连接负载或选配浮动接头，降低径向偏载损伤。洁净专用密封结构，抑制缸内润滑介质析出，避免污染工件。整体轻量化，短行程输出稳定，结构简单。
SMC 10-CDQSB16-20D-M9N 洁净系列薄型气缸多用于半导体、光学、锂电、精密 3C 洁净自动化产线，洁净测试工装、小型工件压紧、物料阻挡定位、精密移栽工位。洁净低析出设计，杜绝气缸内部析出油污颗粒污染产品，常与 10 系列洁净气源元件、洁净调速阀配套，组成完整洁净气动控制回路。
气源前端配置洁净过滤器，保证压缩空气洁净干燥，防止粉尘划伤密封件。负载尽量与活塞杆保持同轴，禁止侧向偏载，防止活塞杆弯曲、密封件加速磨损。D-M9N 为三线 NPN 磁性开关，接线遵循电气规范，避免短路。本体无缓冲，高速冲击工况建议外部加装缓冲器吸收动能。洁净工况定期巡检，检查气缸接口有无漏气，定期维护降低析出累积风险。
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