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SMC CS250-26-4746-340 气体质量流量控制器属于 CS250 系列高精度热式气体质量流量控制器，为精密工艺供气系统核心测控元器件，广泛应用于半导体制造、真空镀膜、光伏新能源、精细化工以及实验室精密配气等场景，可实时检测并闭环调控气体质量流量，测量数据不受气体温度、压力波动影响，保障工艺供气参数稳定可控。型号释义：CS250 代表高性能流量控制系列，26 为气体介质标定代码，4746 代表流量量程规格，340 代表阀体结构、密封材质与管路接口配置。
SMC CS250-26-4746-340 气体质量流量控制器采用成熟热式流量传感原理，直接以气体质量作为计量基准，无需额外温压补偿。内置高精度电磁调节阀，接收上位机设定信号完成全量程流量闭环调节，动态响应灵敏，流量控制重复性优异，有效抑制流量漂移，规避供气波动引发的工艺偏差。整机采用传感器与阀体一体化集成设计，结构紧凑，管路死体积小，减少气体滞留与微粒堆积，满足高洁净工艺管路使用标准。核心传感元件搭载多点温度补偿机制，可在常规工业环境持续稳定作业，适配氮气、氩气等多种高纯工艺气体。
产品配备模拟与数字双通讯接口，可无缝接入 PLC 和上位机控制系统，支持远程下发流量设定指令，实时回传实际流量数值与设备运行状态。内置智能故障自检模块，能够识别超量程、进出口压力异常、阀门故障等工况，及时输出报警信号，提升整套供气系统运行安全稳定性。内部流路采用不锈钢材质，搭配耐化学腐蚀精密密封组件，整机泄漏率极低，抗污染性能突出。标准化管路接口，拆装更换便捷，支持现场参数校准微调，长期运行流量漂移小，维护周期长，降低后期运维投入。
CS250-26-4746-340 可单机独立使用，也可集成于多路配气系统，实现多种工艺气体混合配比与恒定流量输送。在薄膜沉积、等离子刻蚀、新材料研发、气相分析等工序稳定控制气体供给，保障批量生产工艺一致性。该质量流量控制器兼具高精度、高洁净度、响应迅速、易集成等优势，是精密气体流量控制场景的优选设备，稳定保障工艺输出，提升产品良率，适用于各类对气体流量控制精度要求严苛的自动化产线与科研实验平台。
CS2C200-450
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CDS1B125-100+200-A534-XC10
CDS1B125-100+200-A53L-XC10
CDS1B125-105+215-F59W-XC10
CDS1B125-105+215-F59W4-XC10
CDS1B125-110+220-A54L-XC10
CDS1B125-200+50-A64-XC10
CDS1B125-200+50-F59L-XC11
CDS1B125-200+50-XC11
CDS1B125-200-A44
CDS1B125-200-A53
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CDS1B125-200JR
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CDS1B125-230-A54L
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CDS1B125-240+10-XC10
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CDS1B125-250-A44S
CDS1B125-250-A53
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