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SMC CS200-26-4745-130 气体质量流量控制器属于 CS200 系列数字型热式气体质量流量控制器，作为精密供气系统核心测控元件，广泛应用于半导体工艺、真空镀膜、光伏制备、精细化工、科研实验室气体配比等场景，可实时检测并闭环调控工艺气体质量流量，测量结果不受气体温度、压力波动影响，保障精密制程供气稳定。型号释义：CS200 代表产品系列，26 为气体介质标定代码，4745 代表流量量程规格，130 代表阀体结构、密封材质与管路接口配置。
SMC CS200-26-4745-130 气体质量流量控制器采用热式质量流量传感原理，直接以气体质量作为计量基准，无需额外温压补偿，测量精度高，线性表现稳定。内置高精度电磁调节阀，接收上位机控制信号，实现全量程流量平滑调节，动态响应灵敏，流量重复性好，有效降低流量漂移带来的工艺参数偏差，适配长时间连续自动化生产工况。整机采用传感器与阀体一体化集成结构，结构紧凑，管路死体积小，减少气体滞留与微粒沉积，满足高洁净工艺管路使用需求。
内部流路采用不锈钢材质，搭配耐化学腐蚀精密密封组件，整机泄漏率低，抗污染能力强，适配氮气、氩气等多种高纯工艺气体。核心传感元件搭载温度补偿机制，在常规工业环境中能够维持稳定测量性能。产品集成模拟、数字双信号接口，可直接对接 PLC 及上位机控制系统，支持远程设定流量、实时回传流量数据，实现整套供气系统自动化联动控制。
内置智能故障自检模块，能够实时识别超量程、进出口压力异常、阀门故障等异常工况并输出报警信号，提升供气系统运行安全性。设备支持现场参数校准与微调，长期运行流量漂移量小，拆装维护简便，维护周期较长，减少产线停机损失，降低运维成本。
CS200-26-4745-130 既可单机独立使用，也可集成于多路配气系统，完成多种工艺气体混合配比与恒定流量输送。凭借高精度、高稳定性、快速响应与易于集成的特点，该质量流量控制器能够稳定维持工艺参数一致性，提升产品良率，是精密制造、新材料研发、气相分析实验等领域的流体测控设备。
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