SMC CS250-26-4746-225 气体质量流量控制器

产品简介

SMC CS250-26-4746-225 气体质量流量控制器是CS250系列高精度热式气体质量流量控制器，专为精密工艺气体调控设计，广泛适配半导体工艺、真空镀膜、光伏制造、精细化工及科研配气等场景，可独立完成气体质量流量的精准测量与闭环控制，不受工况温压波动影响，保障生产工艺稳定一致。

Name: SMC CS250-26-4746-225 气体质量流量控制器
Brand: SMC/日本
Availability: InStock

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更新时间：2026-09-30

厂商性质：代理商

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SMC CS250-26-4746-225 气体质量流量控制器是CS250系列高精度热式气体质量流量控制器，专为精密工艺气体调控设计，广泛适配半导体工艺、真空镀膜、光伏制造、精细化工及科研配气等场景，可独立完成气体质量流量的精准测量与闭环控制，不受工况温压波动影响，保障生产工艺稳定一致。型号释义：CS250为高性能流量控制系列，26为专属气体介质标定代码，4746为设备流量量程规格，225为阀体结构、密封材质与接口定制配置。

SMC CS250-26-4746-225 气体质量流量控制器采用成熟热式传感测量原理，直接检测气体质量流量，无需额外温压补偿，测量精度高、线性度优异。内置高速响应电磁调节阀，支持2%~100%全量程精准调控，动态响应迅速，流量重复性佳，可有效规避供气波动、流量漂移引发的工艺偏差，适配连续化、高精度自动化生产工况。整机采用传感与阀体一体化集成结构，大幅缩减管路死体积，减少气体滞留、微粒堆积，契合高洁净工艺管路使用标准。

设备核心元件搭载多级温度补偿算法，可在常规工业温湿度环境下稳定运行，适配多种洁净工艺气体。机身采用不锈钢防腐流路，搭配耐老化精密密封件，整机泄漏率极低，抗腐蚀、抗污染性能突出，满足洁净车间的严苛使用要求。同时配备数字与模拟双信号接口，可无缝对接PLC及上位机控制系统，支持远程流量设定、实时数据回传与设备状态监测。

内置智能故障自检模块，可实时识别超量程、压力异常、阀门故障等工况并输出报警信号，大幅提升供气系统运行安全性与稳定性。设备支持现场参数校准与微调，长期运行流量漂移小，维护周期长，拆装便捷，有效降低后期运维成本。

CS250-26-4746-225可灵活集成于多路配气系统，实现工艺气体精准配比与恒定流量输送，凭借高精度、高稳定性、高洁净度的核心优势，成为精密气相工艺、新材料研发、自动化产线的核心测控设备，有效保障批次产品工艺一致性，提升生产良率与工艺精度。

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