带逆流功能减压阀 10-/21-AR□K-D是 SMC 洁净系列模块化带逆流功能减压阀，作为 10-/21-AR-D 减压阀升级型号，专为无尘产线洁净气源压力调控开发，可直接与 AF-D、AFM-D、AFD-D 过滤器模块化拼接组成气源处理单元。型号中 10 - 采用氟系润滑脂，21 - 配置锂皂基润滑脂，内部流体接触部件低析出、低发尘，在洁净环境完成装配吹扫，规避硅、铜类污染物析出，满足高等级洁净制程使用规范。设备采用溢流平衡阀芯结构，调压稳定，可有效缓冲上游供气压力波动，保障下游气动元件获得恒定工作气压。
带逆流功能减压阀 10-/21-AR□K-D最高工作压力 1.0MPa，耐压 1.5MPa，标准调压范围 0.05～0.85MPa，适用介质与环境温度 - 5～60℃。相较于普通 AR-D 减压阀，本机核心亮点为内置逆流泄压结构，当上游气源切断或停机泄压时，能够自动将下游管路残留压缩空气逆向回流至一次侧，快速释放回路残压，实现机构安全复位，无需额外增设泄压阀。调压旋钮配置锁止机构，锁紧后可防止设备振动引发压力偏移；可选配压力表、安装支架，支持托架固定与面板安装，适配多样化布局需求。产品采用标准模块化对接结构，无需转接接头即可与同系列过滤器直联，精简管路，减少泄漏点位，节约设备内部安装空间。
该元件不具备过滤净化能力，使用时必须布置在 10-/21-AF-D 空气过滤器后端，防止管路杂质划伤阀芯密封面。产品拥有多种接管规格，流量覆盖范围广，气流通道压力损失控制合理，不会限制供气流量。
广泛应用于半导体自动化设备、光学元件加工、精密电子组装、无尘实验室气动系统。普通减压阀停机后下游容易留存残压，存在动作误触发风险，搭载 10-/21-AR□K-D 可实现停机泄压，提升设备安全性。在整套洁净气源处理模组中，该元件兼具稳压调控与残压释放功能，为气缸、吹扫工位、精密执行机构提供稳定、可控且可安全泄压的洁净气源，是洁净自动化产线模块化气源系统重要压力控制元件。
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