减压阀 10-/21-AR-D为 SMC 洁净系列模块化减压阀,专为无尘产线气源稳压调控设计,常与 10-/21-AF-D、AFM-D、AFD-D 过滤器直接拼接组成一体化气源处理模组。型号中 10 - 采用氟系润滑脂,21 - 搭载锂皂基润滑脂,内部元件低析出、低发尘,在洁净厂房完成装配吹扫并双层密封包装,规避硅、铜等污染物析出风险,满足高等级洁净制程要求。产品采用溢流型平衡阀芯结构,输出压力稳定,有效抑制上游供气压力波动带来的影响,保障下游气动元件供气压力恒定。
减压阀 10-/21-AR-D最高使用压力 1.0MPa,耐压 1.5MPa,标准调压区间 0.05~0.85MPa,介质与环境温度范围 - 5~60℃,工作环境严禁结冰。调压旋钮自带锁止结构,完成压力设定后锁紧,防止设备振动造成参数偏移。可选配压力表、安装支架,支持托架固定与面板安装;部分规格具备逆流功能,停机时释放下游管路压力,适配需要泄压复位的自动化工位。产品采用标准模块化对接结构,无需额外转接头即可与同系列过滤器串联,精简管路布局,减少气体泄漏点位,节约设备内部安装空间。
与通用型 AR-D 减压阀相比,10-/21-AR-D 针对洁净工况优化密封与润滑材质,避免污染工件,广泛配套多级洁净气源净化链路。该元件不具备过滤净化能力,使用时必须布置在 AF-D 空气过滤器后端,防止管路杂质划伤阀芯密封面,影响调压精度与使用寿命。产品拥有多种接管规格,流量覆盖范围宽广,气流通道压损控制合理,不会显著限制供气流量。
广泛应用于半导体自动化设备、光学元件加工、精密电子组装、无尘实验室等洁净气动系统。在整套气源处理单元中,经过前置过滤的压缩空气经由 10-/21-AR-D 稳定调压,为气缸、电磁阀、吹扫工位提供持续稳定压力气源,避免气压波动引发运动精度偏差、吹气效果不稳定等问题,是洁净车间模块化气源处理组合中压力控制元件。