洁净型空气模块LLB
●将洁净元件模块化(配管工时减少/省空间)
●简便的得到洁净空气
●过滤精度:0.01μm(捕集效率99.99%)
●流体接触部:无润滑脂、无硅
●洁净室组装两层捆包出厂
●24种组合可选
洁净型空气模块LLB是 SMC 面向无尘制程推出的一体化洁净型空气模块,集终端过滤、调压、通断控制、压力监测功能于一体,专为洁净压缩空气、高纯氮气支路供气设计,是气源末端集成化处理单元。模块内置 0.01μm 高精度中空纤维过滤器,微粒捕捉效率可达 99.99%,能够有效截留管路微尘、滤芯碎屑与气溶胶微粒,保障下游用气洁净等级。流体接触部件采用无润滑脂、无硅材质,杜绝硅污染与析出物,适配对污染物管控严苛的洁净产线。
产品在洁净室内完成装配与吹扫,采用双层密封包装出厂,避免储运阶段受到污染。LLB 提供多达 24 种功能组合,可按需集成减压阀、电磁阀、数字压力开关、节流元件,替代分散安装的独立过滤器、阀件与检测元件,大幅简化管路布局,减少接头数量,降低气体泄漏与二次污染风险。模块标准调节压力区间 0.05~0.4MPa,分为 LLB3、LLB4 规格,流量覆盖 5~500L/min(ANR),适配中小流量终端用气支路。
与 SFD 独立中空滤芯过滤器相比,LLB 优势在于功能集成化,兼具净化、稳压、气流开关与状态监测能力,安装紧凑,有效节省设备内部空间,缩短现场配管施工周期。该模块不具备除油能力,需搭配 10-AMD、10-AME 等前置除油净化设备使用,布置在用气工位最末端。运行期间可通过压差变化判断滤芯堵塞状态,达到使用寿命后整体更换滤芯组件,维护操作简单便捷。
广泛应用于半导体晶圆吹扫、光学元件清洁、精密检测设备供气、无尘车间氮气保护、自动化工位吹气除尘等场景,防止微粒污染工件、堵塞细小喷嘴。在整套高纯气源净化系统中,LLB 作为工位级末端集成装置,实现洁净气体过滤与供气参数一体化管控,是无尘自动化产线的终端气源处理设备。