洁净气体过滤器中空滤芯 SFD
●内置中空滤芯
●压力下降：0.03MPa(入口压0.7MPa、最大流量时)
●对应RoHS指令(限制有害成分)
洁净气体过滤器中空滤芯 SFD是 SMC 洁净系列终端高精度过滤器，采用中空纤维膜滤芯结构，专为洁净压缩空气、氮气等高纯气体终端净化设计，多用于气源末端深度除微粒，是无尘制程气路关键终端过滤元件。滤芯采用多孔高分子中空纤维膜，管壁密布多层微孔，依靠物理筛分机制拦截杂质，过滤精度可达 0.01μm，颗粒捕捉效率 99.99%，能够有效截留管路微尘、滤芯脱落碎屑、残余气溶胶微粒，避免微小杂质堵塞喷嘴、污染精密工件。
设备最高工作压力 1.0MPa，耐压 1.5MPa，适用温度 5～45℃；标准工况初始压力损失仅 0.03MPa，气流阻力小，不会显著影响供气流量。产品分为一次性不可更换滤芯与卡盒可更换滤芯两种结构，透明聚碳酸酯壳体便于直观观察滤芯污染程度，外壳耐酒精擦拭；也可选用铝合金、不锈钢壳体，适配有机溶剂工况。配套洁净型快插接头与多种螺纹接口，结构小巧紧凑，支持狭小空间直接串联安装，减少管路接头，降低二次污染风险。
与 AMD、AME 等凝聚式油雾分离器定位不同，SFD 侧重气态终端微粒过滤，无法大量去除液态油雾，通常布置在干燥机、超微油雾分离器后端，作为整套净化系统的最后一道屏障。运行过程中，当压差上升至 0.1MPa 或达到使用年限，应及时更换滤芯，防止杂质穿透。产品流量覆盖 100～500L/min（ANR），适配小流量洁净用气支路。
广泛应用于半导体腔室置换、静电消除吹气、光学元件吹扫、精密点胶、实验室高纯氮气输送、无尘车间微量供气等场景，保障出气洁净等级，防止微粒造成产品缺陷、精密阀件堵塞。整套气源净化链路中，SFD 凭借低发尘特性与稳定的终端微粒拦截能力，成为制备超洁净工艺气体的末端过滤装置。
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