减压阀（压力调节器）工艺气体用 AP/SL/AZ

Name: 减压阀（压力调节器）工艺气体用 AP/SL/AZ
Brand: SMC/日本
Availability: InStock

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更新时间：2026-07-28

厂商性质：代理商

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SMC

SMC工业用过滤器/烧结金属滤芯 SMC高真空元件 SMC工艺气体用元件 SMC温控器 SMC隔膜泵 SMC化学液用阀/管接头&针阀/管子 SMC流体控制元件 SMC手持式泄漏检测仪 SMC静电对策元件/静电消除器 SMC开关/传感器/控制器 SMC协作机器人用气爪 SMC真空元件 SMC压力控制器 SMC摆动气缸/气爪 SMC方向控制阀 SMC压缩空气管理系统 SMC阀岛 SMC气管 SMC接头 SMC液压缸 SMC电气比例阀 SMC增压阀 SMC真空调压阀 SMC电动执行器 SMC减压阀 SMC过滤减压阀 SMC过滤器 SMC电磁阀 SMC气缸
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减压阀（压力调节器）工艺气体用 AP/SL/AZ

●适用于半导体产业等高纯度的气体供给
●阀体材质: SUS316L 二次熔炼或SUS316L
●接气部电解抛光处理

●外部间隙密封构造

减压阀（压力调节器）工艺气体用 AP/SL/AZ 是 SMC 专为超高纯工艺气体输送打造的精密压力调节器，整套系列分层覆盖微流量至大流量、手动调压与气动远程调控场景，核心适配半导体晶圆制程、真空镀膜、精密分析仪器等高洁净用气工况，可稳定输送高纯氮气、氩气及各类特种腐蚀工艺气体。

三大系列具备差异化结构优势，形成完整选型体系。AP 系列为通用主力机型，支持一段式、二段式、气控型多种结构，流量覆盖中小至大流量区间，高压规格最高可承受 24.1MPa 进口压力，适配厂区集中供气主支路；SL 系列采用无弹簧流道设计，接气腔体无内置弹簧，大幅降低微粒产生风险，机身紧凑小巧，专攻设备内部阀盘微流量精密调压；AZ 系列搭载膜片阀芯一体化联动结构，压力抗波动能力强，可选气动远程调节模块，适配全自动产线集中控制场景。

产品洁净性能满足半导体超高纯标准，阀体主体采用 SUS316L 二次熔炼不锈钢，所有接触气体内腔经电解抛光处理，内壁光滑无积尘死角；采用外部间隙密封构造，规避润滑油脂污染气体的隐患。全部零部件在无尘车间脱脂清洗、真空装配，经氦气检漏测试，内外泄漏率极低。针对腐蚀性气体工况，内部膜片、阀芯可选用哈氏合金材质，阀座采用耐化学聚酰亚胺树脂，兼顾密封耐久与介质兼容性。

调压性能稳定线性，可有效抵消进气压力波动带来的输出漂移，稳压精度高，调节区间宽泛，适配负压至中高压多档位输出。支持 VCR 面密封、焊接管等多种高纯管路接头，兼容面板安装、管路直装两种装配方式，设备流道死空间小，便于管路吹扫置换，减少气体滞留污染风险。

整套 AP/SL/AZ 高纯减压阀一站式解决半导体、精密电子行业高纯工艺气体稳压输送需求，凭借分级流量选型、超高洁净构造、高精度稳压与自动化适配能力，构建高纯气体调压完整解决方案，保障精密制程供气稳定洁净，降低工艺不良率。

上一个：恒温干燥机带空气温度调节功能 IDH