半导体行业用温控器 INR-495-042是 SMC 专为半导体晶圆测试、刻蚀、探针台设备开发的水冷式环保循环温控机，整机采用天然 CO₂（R744）冷媒，GWP 值仅为 1，规避欧盟 F-Gas、美国及加州冷媒管控限制，是半导体产线低碳合规换代主力机型。

Name: 半导体行业用温控器 INR-495-042
Brand: SMC/日本
Availability: InStock

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更新时间：2026-07-24

厂商性质：代理商

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SMC

SMC温控器 SMC隔膜泵 SMC化学液用阀/管接头&针阀/管子 SMC流体控制元件 SMC手持式泄漏检测仪 SMC静电对策元件/静电消除器 SMC开关/传感器/控制器 SMC协作机器人用气爪 SMC真空元件 SMC压力控制器 SMC摆动气缸/气爪 SMC方向控制阀 SMC压缩空气管理系统 SMC阀岛 SMC气管 SMC接头 SMC液压缸 SMC电气比例阀 SMC增压阀 SMC真空调压阀 SMC电动执行器 SMC减压阀 SMC过滤减压阀 SMC过滤器 SMC电磁阀 SMC气缸
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半导体行业用温控器 INR-495-042

●对应无氟（CO2制冷剂）
●GWP：1（自然制冷剂）
●EU制冷剂规则：GWP150以下※
●美国制冷剂规则：GWP700以下※
●加利福尼亚州制冷剂规则：GWP750以下
※截至2023年12月
●可空运
使用制冷剂无毒且不燃※ 没有空运限制
※A1（ASHRAE34标准）
●氟利昂管理工时为零
不需要基于氟利昂排出抑制法的简易检查
●氟利昂回收&废弃成本为零

半导体行业用温控器 INR-495-042是 SMC 专为半导体晶圆测试、刻蚀、探针台设备开发的水冷式环保循环温控机，整机采用天然 CO₂（R744）冷媒，GWP 值仅为 1，规避欧盟 F-Gas、美国及加州冷媒管控限制，是半导体产线低碳合规换代主力机型。

设备额定冷却能力 8.5kW，温控区间覆盖 - 20℃至 70℃，集成冷热双向调控模块，温度稳定精度可达 ±1℃，可适配半导体设备低温冷却、高温恒温多工艺需求。循环介质专用氟化液，支持 10L/min、17.5L/min、25L/min 三档流量切换，匹配不同规格探针台、晶圆检测设备散热工况，有效稳定芯片测试温度，消除热漂移带来的检测数据偏差DirectIndu...。

整机水冷换热结构，机身尺寸标准化，可直接替换传统高 GWP 冷媒旧款温控设备，无需改造产线布局。CO₂冷媒无毒、不可燃，符合 ASHRAE34 A1 安全标准，无国际空运限制，进出口运输流程简化；同时无需氟利昂定期检测、回收处理，大幅降低工厂环保运维工时与成本Automation...。

产品严格满足 SEMI S2、S8、F47 半导体行业安全规范，适配洁净车间无尘使用环境。机身配备集成式数字控制面板，可实时监测介质温度、循环流量、机组运行压力与故障代码，参数自定义调节便捷。整机搭载缺水断流、压缩机高低压过载、超温停机、低温防冻全套安全防护，故障自动告警停机，保护昂贵半导体工艺设备。

设备底部配备万向脚轮与调平支脚，拆装移位便捷，内部滤芯、密封件、循环泵等易损件维护简易，可支持半导体产线 24 小时不间断连续运转。凭借零氟环保冷媒、宽温冷热调控、半导体行业合规认证、低运维成本的综合优势，INR-495-042/043 为晶圆制造、芯片测试产线提供长效低碳标准化温控解决方案。

上一个：对应低GWP冷媒的温控器双通道型 HRLF