
产品简介

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隔膜泵 洁净室规格 PA(P)3000是 SMC 专为无尘制程打造的双作用洁净室专用隔膜泵,标准型号为 PA3000,洁净室组装规格标识为 PAP3000,分为自动运转型与外部气控型,主打低发尘、高耐腐蚀、高纯流体输送,广泛用于半导体、光电、生物医药、电子清洗等无尘车间,是高纯度药液、超纯水、弱腐蚀电子化学品转运的核心设备。
隔膜泵 洁净室规格 PA(P)3000核心优势为洁净级生产工艺,整机在洁净室内部完成组装,出厂双层密封包装,泵体流道、进出口一体注塑成型,无多余接缝,很大程度减少颗粒物析出;接液区域无滑动金属摩擦部件,运行磨屑极少,可严格保障输送介质纯度,避免产品污染报废。
接液部件全部采用氟树脂材质,泵身、流道选用 New PFA,隔膜为改性 PTFE,中间盘采用 PPS,贯穿螺栓为不锈钢,整套材质耐强酸、强碱、有机溶剂腐蚀,适配各类电子级化学试剂输送,同时具备耐高温、不析出离子的特性,满足精密制程严苛用料标准。
流量区间覆盖 0.1~13L/min,自动运转型流量 1~13L/min,气控型 0.1~9L/min,适配微量至中小流量输送需求;支持干式自吸,最大干吸扬程 2 米,无需预灌液即可空载启动,管路混入气泡、低压工况依旧稳定运转,输出流量可通过外部电磁阀通断频次灵活调节,微量输送控制精度优异。
驱动模式可选两种,自动运转型内置气动换向阀,接入气源即可自主循环输送,适配不间断连续供液;气控型无内置换向结构,依靠外部五通电磁阀控制启停,可实现间歇、定时定量输送,内部损耗更低,耐久性能更佳,气动重启功能为全系标配,远程即可完成泵体复位操作.。
整机结构紧凑轻量化,适配无尘设备狭小空间集成装配;气动驱动无电机结构,天然防爆安全,适配化学品挥发、高湿无尘车间。易损件隔膜、单向阀可单独拆装更换,维保便捷,设备循环寿命为传统泵 2 至 5 倍,可长期 24 小时不间断稳定作业。
全系符合 RoHS 环保规范,兼顾洁净、防腐、稳定、易维护多重优势,PA (P) 3000 洁净隔膜泵为无尘车间高纯流体输送提供标准化稳定解决方案,有效保障精密电子、医药产线制程洁净度与生产连续性。