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化学液用气控阀/小型 LVD是 SMC 紧凑型小型化学液专用气控隔膜阀,专为半导体检测设备、实验室微量药液输送、精密清洗支路等狭小安装空间打造,凭借迷你化机身、高纯氟树脂流道与隔离式气控结构,实现强酸、强碱、有机溶剂、超纯水等洁净腐蚀介质精准通断。
所有接触药液的零部件均采用高纯 PFA 氟树脂一体成型,化学惰性优异,不与各类腐蚀介质发生溶析反应,无金属离子析出、无细微颗粒脱落,满足无尘车间高洁净制程要求。阀体内流道经过镜面抛光处理,通道小巧圆滑无滞留死角,药液排空,可有效避免微量药液结晶堆积、管路堵塞,降低不同药剂切换时的交叉污染风险。
产品核心优势为小型轻量化结构,整体体积紧凑,适配设备内部狭窄装配区域,不占用过多设备内部空间。采用隔膜隔离式气控驱动结构,依靠 0.3~0.7MPa 标准先导压缩空气驱动启闭,药液流体与气动驱动组件分隔,即使介质微量渗透,也不会腐蚀先导气路配件。阀体无内置电磁线圈,无电气发热部件,可长期在化学雾气浓重、高湿度恶劣工况稳定运行,规避电路受潮腐蚀、短路烧毁故障。
适配介质工作压力 0~0.5MPa,介质适用温度区间 0~60℃,适配常温微量化学药液输送工况。阀座采用软密封结构,阀门关闭状态下泄漏量极低;专用氟树脂隔膜耐溶剂溶胀、抗老化,可承受百万次往复启闭循环,耐久性能可靠。阀体支持单阀独立固定安装,也可多阀配套专用微型集装板集中排布,可按需选配可视化启闭指示器、限位反馈开关,适配自动化设备闭环监测需求。
LVD 小型化学液气控阀,为狭小空间微量高纯腐蚀药液输送提供紧凑型高洁净流体控制解决方案,机身小巧易装配,耐腐蚀无析出,保障精密电子、实验室自动化设备长期稳定运转。