产品简介

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带限位开关的气控阀 LVA*0-C-X33/X22为 SMC LVA 系列搭载反馈限位开关的化学液专用气控隔膜阀,主要用于半导体、光伏、精密清洗等高洁净腐蚀药液输送管路,在实现强酸、强碱、有机溶剂、超纯水通断控制的基础上,集成机械式位置反馈结构,实时反馈阀门全开、全关状态,适配自动化产线闭环管控需求。
介质接触部位全部采用高纯 PFA 氟树脂一体成型,化学惰性很强,不会与各类腐蚀性药液发生反应,无金属离子析出、无粉尘微粒脱落,满足超洁净制程标准。阀体内流道经镜面抛光处理,转角圆滑无介质滞留死角,药液排空,可有效避免药液结晶、残留引发管路堵塞与不同药液交叉污染问题。
阀体采用隔膜隔离式气控驱动结构,外部 0.3~0.7MPa 先导气源驱动氟树脂隔膜完成启闭,化学药液与气动驱动组件分隔,杜绝药液渗漏腐蚀气路配件;整机无内置电磁线圈,可长期在化学雾气浓重、高湿度的恶劣工况稳定运行,规避电路腐蚀短路故障。
产品核心特色为配套高精度限位反馈开关,通过机械顶杆联动隔膜阀芯,阀门到达全开或全关极限位置时,开关即时输出通断电信号,将阀体实际状态传输至 PLC 控制系统,实现阀门动作实时监控、异常状态报警,防止阀门卡滞、未关断造成药液泄漏、工件报废。
适配介质压力 0~0.5MPa,介质使用温度 0~60℃,阀体结构小巧,支持单阀独立安装或多阀集装板集成排布,标准扩口接口适配高纯氟树脂管路,拆装可重复使用。软密封阀座关断泄漏量极低,隔膜抗溶胀、耐老化,百万次启闭循环耐久稳定。
LVA*0-C-X33/X22 带限位开关气控隔膜阀,为高洁净腐蚀药液自动化输送提供带状态反馈的一体化解决方案,实时监测阀门启闭状态,保障精密化工、电子产线连续稳定运行。