常闭型高真空电磁阀 XSA，专为真空管路通断控制研发，适配高真空工况下气体介质启闭切换，广泛应用真空镀膜、半导体设备、检测仪器、真空腔体配套气路系统。产品默认常闭结构，断电状态保持阀口密封，通电完成阀门开启，满足设备待机真空维持、工序进气管控等基础需求。

Name: 常闭型高真空电磁阀 XSA
Brand: SMC/日本
Availability: InStock

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更新时间：2026-07-22

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常闭型高真空电磁阀 XSA

●追加内螺纹型（Rc, NPT） [New]
●至低使用压力：1×10-6Pa(abs)
●泄漏量：内部1.3×10-9Pa·m3/s，外部1.3×10-11Pa·m3/s
●备有2种接头
●消耗功率：最大削减25%
●重量：最大减轻18%　0.5kg→0.41kg

常闭型高真空电磁阀 XSA，专为真空管路通断控制研发，适配高真空工况下气体介质启闭切换，广泛应用真空镀膜、半导体设备、检测仪器、真空腔体配套气路系统。产品默认常闭结构，断电状态保持阀口密封，通电完成阀门开启，满足设备待机真空维持、工序进气管控等基础需求。

阀体主体采用不锈钢材质，内部流道经过精密加工，腔体结构简洁，减少气体吸附与残留，便于真空抽除。密封组件选用耐老化特种橡胶，具备低出气率特性，适配高真空环境，有效降低放气对真空度造成的负面影响。阀内置电磁直动驱动结构，传动部件简洁，启闭响应迅速，动作稳定，不易出现卡滞故障。支持多种标准法兰与螺纹接口，方便直接对接真空管路，可实现面板安装与管路直接装配。

适用压力范围覆盖常压至高真空区间，能够承受腔体抽真空、微量工艺气体导入工况，阀门闭合后密封性能优异，泄漏量低，保障腔体真空环境稳定。工作环境温度适配设备常规运行区间，线圈防护设计合理，可持续短时通电使用。产品无需额外润滑，规避油脂挥发污染真空腔体，契合洁净真空工艺要求。结构紧凑，占用空间小，便于真空机组、腔体周边密集布局。

广泛运用于真空镀膜机、真空热处理装置、质谱分析仪器、锂电池真空封装设备、半导体真空制程、检漏系统等场景，用于吹扫气、工艺进气、隔离管路的通断控制。相比普通气动真空阀，XSA 电磁阀无需配套驱动气源，接线即可独立工作，简化外围配套。常闭本体结构在断电停机时自动切断管路，避免真空腔体直接暴露，降低真空恢复时长。凭借低漏率、低放气、安装便捷的优势，为各类高真空系统提供可靠的管路切断解决方案。

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