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流量传感器 PFMV505-1-X502
产品简介

流量传感器 PFMV505-1-X502是 SMC超微量热式气体流量传感器,属于 PFMV5 系列高精度微型检测机型,专为极微小气流检测、真空吸附确认、管路微泄漏排查场景开发,广泛应用 3C 精密组装、半导体微制程、微细喷嘴堵孔检测、微小工件吸附判定等自动化场景,是微量气路异常检测的核心精密元件。

产品型号:
更新时间:2026-07-17
厂商性质:代理商
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流量传感器 PFMV505-1-X502
●流量范围:0~0.1L/min
●可与电压显示器PFMV3连接
  (仅对应电压显示功能)


流量传感器 PFMV505-1-X502是 SMC超微量热式气体流量传感器,属于 PFMV5 系列高精度微型检测机型,专为极微小气流检测、真空吸附确认、管路微泄漏排查场景开发,广泛应用 3C 精密组装、半导体微制程、微细喷嘴堵孔检测、微小工件吸附判定等自动化场景,是微量气路异常检测的核心精密元件。
本品采用MEMS 热式检测原理,无机械活动部件,依靠气流温度场变化精准测算流速流量,不存在叶轮卡滞、磨损故障,检测响应极速、稳定性很高。专属0~0.1L/min 超微流量量程,专为常规传感器无法识别的微量气流设计,可精准捕捉细微漏气、微弱排气与微量气流变化,有效解决微泄漏、轻微堵塞难以检测的行业痛点。
传感器具备≤5ms 毫秒级极速响应,远超普通流量检测元件,可匹配高速自动化设备节拍,瞬时捕捉瞬态气流变化,杜绝检测滞后、漏判误判问题。设备重复精度可达 ±2% F.S,检测线性稳定,可精准判定工件吸附到位、喷嘴堵塞、管路微漏、气路流通异常,大幅提升精密制程检测可靠性。
机身采用超轻微型化结构,不含线材仅重 10g,体积小巧紧凑,适配吸盘末端、微细管路、狭小模组内部安装,无管路滞后误差,检测数据真实精准。通液材质采用 PPS、SUS316 等耐腐蚀材质,搭配无润滑洁净设计,无油脂析出、无粉尘污染,适配无尘车间、半导体等高洁净生产环境。
电气性能稳定专业,标配1~5V 标准模拟量输出,可连续输出实时流量数值,支持 PLC 数据采集、流量追溯与闭环精密控制,实现微气流量化管控。设备采用 DC12–24V 工业供电,自带极性保护,功耗低于 16mA,低功耗长效运行,抗电磁干扰能力强,适配工业连续作业工况。
产品耐压可达 500kPa,适配常规气压与真空负压工况,介质工作温度 0~50℃,温漂误差小,环境适应性优异。防护等级 IP40,防尘抗振,结构坚固耐用,无易损机械部件,无需频繁校准,运维成本极低,符合 CE、RoHS 工业规范。
凭借超微量精准检测、5ms 极速响应、洁净微型机身、无磨损长效稳定、模拟量精准输出的核心优势,PFMV505-1-X502 是精密自动化微气流检漏、吸附确认、品质管控的优选传感器。


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