流量传感器 PFMV
●微小工件的吸附确认
●重复精度: ± 2% F.S.以下
●响应速度: 5 ms 以下、耐压: 500 kPa
●无润滑脂、对应RoHS
●一个电压监控器即可对应全部量程
●相关元件:真空过滤器ZFC050系列
流量传感器 PFMV是 SMC超高速微小流量模拟式流量传感器，专为微量气体检测与真空吸附确认场景开发，适配干燥空气、氮气等洁净气体，凭借毫秒级极速响应、双向微流量检测、无润滑洁净结构与超小型机身，成为 3C 精密组装、半导体微制程、微小工件吸附检测、喷嘴堵塞检漏的专用高精度传感元件。
该传感器采用专用微流量热式检测结构，响应速度≤5ms，远超常规流量开关，可捕捉瞬时气流变化，适配高速自动化检测节拍。设备支持正负双向流量监测，量程覆盖‑3～3L/min 梯度区间，包含超微量 0～0.1L/min 精密档位，重复精度可达 ±2% F.S，可精准识别微小工件吸附到位、微孔喷嘴堵塞、管路微泄漏、气流波动等常规设备无法辨识的隐性异常，保障精密制程稳定性。
PFMV 主打微型化设计，机身体积精巧，搭载 M5 微型螺纹接口，可直接安装于吸盘末端、微细管路内部，大幅缩短检测管路距离，消除管路滞后误差，检测数据真实精准。机身采用无润滑洁净构造，无油脂析出、无粉尘污染，适配无尘车间、半导体等高洁净生产环境，满足严苛制程洁净规范。
产品输出稳定专业，标配1～5V 标准模拟量电压信号，可连续输出实时流量数值，支持后端显示器或 PLC 进行数据采集、流量追溯与精密闭环控制，区别于普通开关型传感器，可实现微量气流量化管控。设备功耗低至 16mA 以下，搭配极性保护电路，供电稳定、抗干扰强，适配工业长期连续运行工况。
整机耐压可达 500kPa，耐受瞬时气压冲击，适配真空负压与低压微气流工况。工作温度 0～50℃，温漂极小，高低温环境检测精度稳定。防护等级 IP40，防尘抗震，适配车间常规生产环境。搭配耐弯折专用连接线，布线灵活、耐用性高，可适配狭小设备空间与密集模组布局。
设备自带参数校正、按键锁定、30 秒省电休眠等实用功能，可修正安装误差、防止误操作，兼顾检测精度与节能需求。纯固态传感结构无机械活动部件，无磨损、无卡滞，长期运行无精度漂移，免频繁校准，运维成本极低，符合 CE、RoHS 工业环保标准。
凭借5ms 极速响应、双向微流量检测、微型洁净机身、模拟量精准输出、零滞后高精度监测的核心优势，PFMV 是精密自动化微气流检测与真空吸附品质管控的核心传感设备。
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产品简介
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