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化学液用气控阀/螺纹拧入型/55-LVA,采用外部先导驱动结构,依靠压缩空气完成阀门启闭,无电磁部件,适配各类腐蚀性化学药液管路,主要用于半导体、面板、化工设备中酸碱药液、清洗剂、高纯化学液体的通断控制。螺纹拧入式安装结构,阀体可直接拧入设备阀块,无需额外接管接头,减少液体泄漏点,缩小设备占用空间,适配设备内部紧凑布局。
化学液用气控阀/螺纹拧入型/55-LVA接触药液的过流部件采用耐化学腐蚀氟树脂材质,具备优异抗酸碱、抗有机溶剂侵蚀能力,可适配多种强腐蚀性化学介质,密封件选用专用氟橡胶材料,抑制药液渗透与材料老化。分为常闭、常开两种功能型式,流体工作压力 0‑0.4MPa,先导驱动压力 0.35‑0.5MPa,流体使用温度 5‑50℃。先导介质为洁净压缩空气,严禁向先导侧通入化学液体,避免阀体内部机构损坏。
螺纹拧入安装为该型号核心特点,阀体直接旋入流路板螺纹孔,装配简单,拆装更换阀体时无需拆卸周边管路,便于后期维护更换。阀体内置膜片式结构,膜片隔离先导驱动空气与化学液体,杜绝气体混入药液回路,保障化学液体纯度,避免介质被气源污染。阀体体积小巧,支持多阀密集排布,实现多路化学药液回路集中布置。
该气控阀无电气零件,可用于防爆工况,动作响应迅速,膜片结构无滑动摩擦部件,降低颗粒析出风险,满足高纯药液使用要求。广泛应用于半导体清洗设备、湿法工艺装置、实验室化学供给系统、精密蚀刻设备等场景,实现药液供给、排液、药剂切换通断控制。
使用过程中需控制流体压力与温度在规定范围,防止介质结晶析出造成膜片损伤;管路前端建议配置过滤器,过滤固体杂质。定期检查密封部位,防止化学介质渗漏。55‑LVA 螺纹拧入型气控阀凭借耐化学腐蚀、安装紧凑、维护便捷、介质污染风险低的优势,可靠完成腐蚀性化学液体回路通断控制,保障湿法工艺设备稳定运行。