微压差用传感器 10-PSE550
●微差压传感器
微压差用传感器 10-PSE550为洁净规格微压差用分离型压力传感器，采用双端口压差检测结构，专门用于两处气路之间微小气压差值测量，适配半导体洁净设备、洁净通风系统、过滤器堵塞监测等场景，满足 ISO 洁净 4 级标准，符合 RoHS、CE 规范，出厂在高洁净环境完成封装包装，降低杂质带入风险。产品搭载 MEMS 微压传感芯片，可在‑50kPa 至 50kPa 总压范围内实现 0‑2kPa 微差压检测，线性度、重复精度表现优异，能够捕捉普通压力传感器难以识别的帕级微小压差变化，精准识别滤网堵塞、风道风压偏移、气流波动等工况变化。
供电规格 DC12‑24V，内置电源反接保护，整机工作电流 15mA 以内，功耗低，适配设备多传感点位集中部署。具备 1‑5V 电压输出、4‑20mA 电流输出两种模拟信号制式，信号输出稳定，可直接对接 PLC 与配套压力控制器，完成微压差数据采集、状态监控与闭环控制.。防护等级 IP40，工作温度 0‑50℃，存储温度‑20‑70℃，使用环境禁止结露冻结，适配压缩空气及各类非腐蚀性非可燃气体，抗振动抗冲击，可适应设备长期连续运行工况。
传感器本体体积小巧轻量化，配备双路 Φ4 气管接管口，无需螺纹转接即可接入气路，支持直接安装或选配支架固定，可布置在风道、设备内部狭小空间，与控制器分体布局，布线灵活。本体搭载电源状态指示灯，便于现场快速确认传感器工作状态，电缆采用无卤素材质，满足洁净设备布线要求。
受压接触部件采用低析出材质，无硅油析出，微粒释放量低，不会污染晶圆、光学零部件等工件，适配高洁净制程。多用于过滤器堵塞预警、洁净腔室风压管控、风量监测、微气动回路压差监控，当滤芯发生堵塞产生压差变化时及时输出信号，提示耗材更换。该微压差传感器为洁净自动化系统提供高精度微压差检测解决方案，提前捕捉设备隐性异常，减少制程不良，保障产线通风与气动系统稳定运行。
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