洁净室用排气过滤器 SFE
●洁净室内(清洁度等级为4：ISO14644-1)可直接排气
只需安装在洁净室内的气动设备上，便可实现直接排气
●排气·溢流无管化。节省安装空间，减少安装工时
●消音效果：30dB(A)以上
●配备了快换接头型
洁净室用排气过滤器 SFE是 SMC 面向洁净空间开发的小型排气过滤器，直接安装在气缸、电磁阀、减压阀排气口，净化气动元件排出废气，实现洁净室内就地直排，省去集中排气管路，是洁净气动系统关键末端配件。设备内置聚烯烃中空纤维膜滤芯，过滤精度 0.01μm，颗粒捕捉效率 99.99%，可有效截留排气中固体微粒、气溶胶杂质，排气洁净等级可达 ISO4 级，同时具备 30dB (A) 以上消音效果，兼顾除尘降噪双重作用。产品在洁净环境完成组装清洗，采用防静电双层密封包装出厂，低发尘、低析出，避免使用过程中产生二次污染。
设备允许最高入口压力 0.1MPa，适用环境温度 5～45℃，壳体采用 PBT 工程塑料，搭配 NBR 密封件，结构小巧轻便。产品规格齐全，涵盖 M5 外螺纹、快插接头型、插入式多种连接形式，最大处理流量可达 200L/min，适配各类中小流量气动执行元件。安装方式灵活，可搭配固定支架固定于设备机架，快插款式拆装便捷，大幅简化现场配管，节约设备内部安装空间，降低施工成本。
相较于 AMP 排气洁净器，SFE 侧重细微固体颗粒拦截，适合气源含油量较低的洁净回路；运行过程中，滤芯持续截留杂质，当排气背压上升至 0.1MPa 或达到两年使用周期，应当及时更换。需要注意，SFE 微粒过滤性能优异，但除油能力有限，若系统油气含量偏高，建议上游搭配无润滑气动元件使用。
广泛应用于半导体自动化设备、光学检测设备、无尘实验室、精密电子组装产线等场景。传统方案需要铺设专用排气管道收集废气，加装 SFE 后可实现点位直排，简化整机气路布局。在整套洁净气动系统中，SFE 从源头净化排气颗粒物，防止废气污染洁净室环境、污染精密工件，保障车间洁净等级稳定，是无尘自动化设备标配的排气净化元件。
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