洁净气体过滤器SF
●卡盘式，可进行元件替换
(SFA100·200·300，SFB100)
●小型、一次性使用型，用于半导体工业
(SFB300，SFC100)
洁净气体过滤器SF是 SMC 洁净型终端气体过滤器，专为高纯压缩空气、氮气末端微粒净化开发，采用 PTFE 微孔膜滤芯，依靠物理筛分机制实现高精度固态杂质拦截，是半导体、无尘产线气源末端关键净化元件。核心滤芯过滤精度可达 0.01μm，颗粒捕捉效率 99.99%，能够有效截留管路微尘、滤芯脱落碎屑、气溶胶微粒，抑制微小杂质堵塞喷嘴、污染精密工件。产品全程在洁净室内完成零部件清洗、装配与检测，出厂配备双层防静电密封包装，最大限度避免储运阶段产生二次污染。
设备最高使用压力 0.99MPa，适用温度 5～80℃，流体接触部位采用耐化学腐蚀材质，密封件选用氟橡胶，具备良好耐溶剂性能。系列分为 SFA 圆盘夹头型、SFB 直通型、SFC 一次性多盘型，提供可更换滤芯与一次性整机两种结构方案；夹头款式拆装便捷，支持单独更换滤芯，长期使用经济性更佳，一次性结构密闭性强，杜绝拆装污染风险。壳体可选铝合金与不锈钢材质，外形小巧紧凑，适配设备内部狭小空间安装，配套多种螺纹与快插接口，灵活对接小型供气支路。气流通道经过优化设计，运行初始压力损失较低，不会对供气流量造成明显影响。
SF 仅用于去除固态微粒，不具备除油能力，必须布置在 10-AME 超微油雾分离器后端，作为整套净化系统最后一道屏障。与 SFD 中空纤维过滤器相比，SF 采用 PTFE 平膜滤芯，耐化学性更优，适配存在有机溶剂挥发的严苛工况。运行过程中，压差持续上升代表滤芯堵塞，需按时更换滤芯，防止杂质穿透。
广泛应用于晶圆吹扫、光学元件清洗、精密点胶、实验室高纯氮气输送、无尘自动化工位吹气等场景。在多级气源净化链路中，SF 依托低发尘特性与稳定的微粒拦截能力，保障终端用气洁净等级，是制备超洁净工艺气体的末端过滤设备。
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