气缸 10-/11-/21-/22-CM2-Z是 SMC 专为高洁净工况打造的轻型标准气缸，依托 CM2 基础气缸改良洁净配置，前缀数字区分洁净防护等级，适配半导体、光学、医疗、精密电子无尘生产线，用于工件输送、定位压紧、物料推拉、治具升降等中等负载直线驱动场景。四类型号分层适配不同洁净要求：10、11 系列为通用低发尘款，满足普通无尘车间；21、22 系列采用无硅低析出润滑体系，适配晶圆、光学镜片等超严苛无尘环境。
气缸 10-/11-/21-/22-CM2-Z整体为圆形轻量化缸筒结构，缸筒采用高精度镜面不锈钢材质，内壁光滑不易积尘。活塞、活塞杆密封件选用低摩擦特种无尘橡胶，搭配专用低发尘防尘圈，往复伸缩时几乎无微粒脱落，支持无油干燥洁净气源，无需持续供油，从源头避免油污污染精密工件。缸径规格齐全，行程覆盖 10mm 至 200mm，推力区间宽泛，兼顾轻型与中型负载。产品安装方式多元，法兰、脚座、耳轴、后端螺纹等安装附件齐全，适配设备狭小内部空间布局。
性能稳定适配连续自动化作业，标准工作压力 0.15~0.7MPa，适用环境温度 - 10℃~50℃。全系标配内置气缓冲，活塞杆伸缩两端缓冲减震，减少金属撞击产生的粉尘与震动，运行平稳无冲击、低速无爬行，重复定位精度高，可承受百万次高频循环作业，使用寿命长久。活塞杆端部可匹配标准接头、治具压板，装配灵活。
洁净工艺为系列核心亮点，全部零部件在无尘车间完成装配，缸体内部经高纯氮气吹扫，清除加工碎屑与杂质。10、11 系列基础低发尘配置，性价比突出；21、22 升级专用无挥发润滑脂，杜绝低分子污染物析出，出厂采用防静电真空包装。整机符合环保标准，无重金属、硅类有害物质析出。
该气缸常搭配 10 系列洁净五通、三通电磁阀成套使用，组成完整无尘气动驱动系统，广泛应用芯片封装设备、液晶面板检测、医用耗材组装、光学元件加工产线。凭借大推力、低发尘、缓冲降噪、多洁净等级可选的特点，成为洁净自动化设备中等负载直线运动的主流执行元件。
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