5通电磁阀 10-SZ
洁净系列
5通电磁阀 10-SZ是 SMC 洁净专用二位五通先导式电磁阀,主打卡匣式集成汇流结构,专为半导体、光学、医疗等高洁净工况设计,兼顾更大通流、快速响应与无尘低粉尘特性,型号中 “10" 代表洁净等级定制,SZ 为大流量微型五通阀系列,主流规格 10-SZ3000,适配中小型气缸气动换向控制。
阀体标准五通布局,含 P 进气口、A/B 两路输出口、R/S 双独立排气口,采用主阀与先导阀共排气结构,弹性密封阀芯零内泄漏,气源无需供油,适配干燥高纯压缩空气。相比同洁净级 10-SYJ,10-SZ 流量性能更强,声速流导达 0.77dm³/(s・bar),可驱动 φ32 气缸,线圈标准功耗 0.6W,搭载浪涌抑制与 LED 状态指示灯,支持 DC3V~DC24V 多种低压供电,可直接对接 PLC 控制器。
该阀基础工作压力区间 0.15–0.7MPa,环境耐受温度 - 10℃至 50℃,换向响应仅 10ms,最高切换频率 10Hz,循环使用寿命可达 5000 万次以上,长期连续运行稳定可靠。阀体采用轻量化防腐压铸铝合金,分为单体独立配管、卡匣汇流板集装两种安装形式,单组汇流底座最多集成 8 联阀体,扁平排线集中布线,大幅缩减控制柜安装空间;接线接口可自由切换顶部、侧向出线,适配狭小设备布局,阀体自带非锁定手动推压按钮,断电检修时可手动切换气路,调试便捷。
10-SZ 核心优势为无尘生产工艺,全流程在高等级无尘车间装配,出厂经高纯空气吹扫,运动部件摩擦无粉尘脱落,不会污染晶圆、镜片、医用耗材等精密工件,阀体双层防静电密封包装,规避微粒污染风险。卡匣式快拆结构无需拆解整体气路,单阀故障可单独更换,维护成本更低。
产品广泛应用于半导体封装、液晶面板、医疗器械、精密光学检测设备等洁净自动化产线,在洁净环境狭小设备内,实现大流量、高速、低功耗、无粉尘污染的气缸换向控制,是无尘产线气动控制核心元器件。