电动执行器/无杆型 滚珠丝杠驱动 11-LEJS
●薄型/低重心：高度降低大约36%(降低32 mm)
●最大可搬质量: 85 kg
●重复定位精度: ±0.02 mm
●最大加减速度: 20000 mm/s2
●洁净规格
●对应驱动器: LECSA，LECSB，LECSC，LECSS
电动执行器/无杆型 滚珠丝杠驱动 11-LEJS是 SMC 面向半导体、光学、医疗洁净产线推出的ISO4 级高刚性无杆滚珠丝杠伺服滑台，为标准 LEJS 洁净升级款，符合 CE、RoHS 规范，提供 40、63 两种机身规格，行程覆盖 200～1500mm，主打重载悬臂、长行程高精度搬运，适配晶圆转运、精密检测模组、大型洁净治具平移等高负载无尘工位。
整机核心优势为加宽机身双内置线性导轨高刚性结构，对比 11-LEFS 标准洁净滑台，机身宽度大幅提升、重心降低 36%，抗弯矩与侧向负载能力显著增强，63 规格最大水平搬运重量可达 85kg，长行程悬臂作业不易下垂变形，无需额外加装 11-LEFG 支撑导轨，简化设备机械结构。内部精密滚珠丝杠搭配大尺寸循环滑块，重复定位精度标准 ±0.02mm，可选高精度版本达 ±0.01mm，最大加减速 20000mm/s²，高速启停无抖动，多导程可选兼顾高速转运与微米级对位需求。
洁净防护体系满足 ISO14644-1 Class4 无尘标准，机身集成一体式真空管路，无需拆卸外壳即可接入负压气源，实时抽走丝杠、导轨运转产生的微粉尘；滑台开口配备耐磨密封带阻隔外部颗粒，内部填充低发尘专用润滑脂，微粒释放量极低，避免污染晶圆、光学元件等高精密工件。电机端配备密封护罩与防水接头，可长期稳定运行于无尘腔体内部，机身预留润滑注油嘴，维护无需开启洁净室大门。
动力搭载 AC 伺服电机，可选 22bit 免电池绝对式编码器，断电保存滑块坐标，设备重启无需原点回归，减少无尘车间开门维护频次；同步提供增量编码版本适配经济型改造项目。整机底面、滑块顶面密布标准安装螺纹孔，支持正装、侧装、吊顶多向装配，侧边标准化磁性开关槽可加装洁净感应开关，输出多区间到位信号。全面兼容 LECSA、LECS□-T 伺服驱动器，支持脉冲输入、EtherCAT 总线双控制模式，搭配 JX-T1 示教盒可现场快速示教点位、整定伺服增益。
对比 11-LEFS 标准洁净滑台，11-LEJS 刚性与承载上限更高，适配大治具悬臂工况；普通工业 LEJS 无真空抑尘结构，无法用于无尘车间。依托加宽机身双导轨高刚性、ISO4 级真空低发尘设计、AC 伺服高速高负载、免电池编码免回零、多安装方式适配洁净设备五大核心优势，解决无尘产线重载长行程滑台挠度大、高精密工件易被粉尘污染、设备复位占用生产节拍等痛点，是洁净车间重型精密直线移栽专用伺服解决方案。
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