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产品简介
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气体用超小型流量传感器 RAPIFLOW®FSM，是压缩空气、氮气用超小型流量传感器。轻量、高速响应，适合电子部件等的吸附确认。
产品特点：
【超小型、轻量】（FSM-X系列）
气体用超小型流量传感器 RAPIFLOW®FSM通过分离传感头实现了超小型化。
实现了比以往体积减少52%，轻量4G、最薄8mm。
产品包括传感头单体和带流路模块两种类型。
【非线性特性】（FSM-X系列）
将模拟输出作为非线性特性，提高了低流量领域的分辨率。
【高速响应】（FSM-V・FSM-X系列）
实现了以往无法实现的5ms的高速响应设计
【双方向测量】（FSM-V・FSM-X系列）
可进行双方向测量，适合吸附确认用途。
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