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产品简介

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净化减压阀RC2000采用禁油规格•不锈钢阀体,适合半导体制造装置或液晶制造装置使用的清洁空气、N2的压力控制。另外,由于紧凑•大流量,因此适合空气(N2)吹气。
产品特点:
【禁油规格】
净化减压阀RC2000实施精密清洗(气体接触部分),在洁净室内进行从组装到包装的生产。
接触气体部位不使用润滑脂。
【紧凑•大流量】
对边50mm的紧凑尺寸,并实现了0.8㎥/min的大流量。
(1次压力0.7MPa、设定压力0.5MPa、压力降0.1MPa时的流量)
【带可逆流功能】
具有排放1次侧压力时,2次侧压力向1次侧逆流的功能。
2次侧不残留压力,重视安全性。(不施加背压时)
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