核心产品优势

1. 真空控压精度高，线性度 ±1% F.S.，真空度输出稳定无波动

2. 轻量化薄型设计，重量≤100g，汇流板安装省空间，适配紧凑布局

3. 防护等级 IP65，防尘防水抗污染，适应工业复杂恶劣工况

4. 4~20mA 标准电信号输入，适配各类工业控制系统，兼容性强

5. 配备 LED 故障指示灯，故障快速识别，大幅降低设备维护耗时

技术参数

型号解析

ITV0090-0ML：

ITV=SMC 电气比例阀核心系列；

00= 薄型基础款，适配微型精密控制场景；

90= 真空调压规格，对应 - 1~-100kPa 真空调节范围；

0= 输入信号 / 供电规格，4~20mA+DC24V；

ML= 汇流板安装 + 直角型 2M 电缆插头。

工作原理

SMC电气比例阀ITV0090-0ML采用闭环真空控制原理，输入的 4~20mA 电信号驱动内部真空用电磁先导阀动作，电信号强度决定先导阀开度，进而控制真空度输出大小。输出真空度经压力传感器实时反馈至控制回路，与目标值持续比对修正，通过交替控制真空阀与大气阀的开度，直至输出真空度与输入电信号成精准比例，实现真空度的闭环精准调控。

工作流程

1. 接入 DC24V 电源，向比例阀输入 4~20mA 控制电信号，启动设备；

2. 内部控制回路接收电信号，按信号强度驱动真空先导阀动作，调节先导室真空度；

3. 先导室真空度联动主阀芯动作，改变真空通路开度，输出对应真空度；

4. 压力传感器实时采集输出真空度数据，反馈至内部控制回路；

5. 控制回路将反馈值与目标值比对，微调阀芯开度，直至真空度精准匹配电信号；

6. 当输入电信号变化时，重复 2-5 步骤，实现真空度的连续无级调节。

典型应用场景

1. 电子芯片真空吸附搬运

精准调控真空吸嘴的吸附真空度，适配不同尺寸芯片的轻柔吸附，避免真空度过大损坏芯片、过小导致掉落，提升芯片搬运良率。

2. 半导体晶圆加工

调节晶圆刻蚀、镀膜环节的真空腔室真空度，实现 - 1~-100kPa 精准控压，保证晶圆加工的工艺一致性，提升半导体器件生产精度。

3. 精密光学镜片真空固定

在镜片研磨、抛光工序中，精准控制真空工装的固定真空度，使镜片装夹牢固且无压损，避免加工过程中镜片偏移影响精度。

4. 食品真空包装设备

调控真空包装机的抽真空环节，根据食品包装材质和规格精准调节真空度，保证包装密封效果，同时避免包装材料因真空度过大被吸损。

5. 汽车零部件真空检测

为汽车橡胶密封件、管路的气密性检测提供精准真空度，精准捕捉微小漏气问题，提升汽车零部件检测的准确性和合格率。

安装使用注意事项

1. 安装前需用干燥压缩空气吹净气路管路，去除铁屑、粉尘、油污等杂质，避免杂质进入阀体内造成阀芯卡滞，影响真空调节精度甚至损坏阀体。

2. 严格按阀体标识的气路方向连接，供气侧、真空输出侧、大气侧不可接反，反接会导致比例阀调压失效，甚至损坏内部电磁元件。

3. 电气接线时，4~20mA 信号线需与动力线分开布线，远离强电磁设备，防止电磁干扰导致电信号失真，造成真空度调节偏差，接线端子需拧紧防松动。

4. 产品出厂前已完成真空参数精准标定，禁止私自拆卸阀体、调节内部元件，拆卸会破坏密封结构和调节精度，故障需联系 SMC 专业售后处理。

5. 安装与使用时保证呼吸孔通畅，IP65 防护使用时需将呼吸孔配管引至上方，防止水、粉尘进入呼吸孔导致内部元件损坏，影响产品使用寿命。

结尾小结

SMC电气比例阀ITV0090-0ML凭借精准的真空度调控、轻量化汇流板安装、高防护性的核心特性，为各行业自动化产线的真空精密控制需求提供了高适配性的解决方案。

选择 ITV0090-0ML能有效提升设备的真空控制精度和生产作业效率，减少因真空度偏差造成的产品损耗，汇流板设计节省安装空间，便捷的故障提示也能降低设备的运维成本和停机时间。

ITV0090-1L

ITV0090-1ML

ITV0090-2L

ITV0090-2ML

ITV0090-2S

ITV0090-2S-Q

ITV0090-3BL

ITV0090-3L

ITV0090-3ML

ITV0091-3BL

ITV1010-011L

ITV1010-012CL

ITV1010-012L

ITV1010-012N

ITV1010-041S

ITV1010-042S

ITV1010-311L

ITV1010-311S

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